高溫爐操作規程有哪些說明？

高溫爐操作規程

一、 準備工作

a、檢查連接線是否正常。

b、檢查電源線接觸是否良好。

c、檢查密封性是否正常。

d、檢查冷卻水是否正常。

e,、準備所需工具：無水酒精、無塵紙、作業手套、帆布手套、耐高溫手套、口罩、石墨推車、不銹鋼托盤

二、開爐

a、打開主電源開關

b、向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門，取下石墨蓋板

c、將輸送車開關打至 OUT

d、清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物

三、裝料

a、將石墨坩堝放置于輸送車平臺上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。

b、拔出限位桿，輸送車開關打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內，并確定輸送車會到初始位置。

c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關緊爐門。

四、抽氣

a、檢查爐門是否關緊，真空系統是否密封。

b、置 DP 按鈕于 DP ON，打開干式真空泵，打開真空計開關 P1G1，打開干式真空泵 。閥門，開始抽氣測試泄漏率。

c、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門（非真空泵）露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣（20L/min）。

d、加熱 先打開水環泵 再按 RUN，開始工藝加熱。

e、冷卻。加熱結束后，按工藝條件進行冷卻。


 

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